硅光电子集成工艺平台

硅光电子集成工艺平台已具备包括从介质和金属薄膜生长、图形转移、干法和湿法刻蚀、清洗、机械化学抛光、离子注入,退火,在线检测的工艺能力。已开发包含波导、交叉、耦合器、微环等无源器件,Ge探测器、Si调制器等有源器件的硅光集成工艺流程图和工艺库,并提供给客户用于产品和器件设计。基于以上硅光集成工艺库,已为各高校、研究所以及主流光模块公司提供流片服务

XML 地图 | Sitemap 地图